МЕТОДОЛОГИЯ РАЗРАБОТКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ С ЗАДАННОЙ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬЮ ДЛЯ ХЕМОРЕЗИСТИВНОЙ ГАЗОВОЙ СЕНСОРИКИ БЕЗ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ

Nanoindustry Russia Pub Date : 2023-02-16 DOI:10.22184/1993-8578.2022.16.1.22.28

Е.С. Тюнтеров, В.С. Абруков, В.А. Мукин, А.В. Смирнов, Д.В. Петров, Н.В. Александрова, И. И. Семенова

{"title":"МЕТОДОЛОГИЯ РАЗРАБОТКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ С ЗАДАННОЙ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬЮ ДЛЯ ХЕМОРЕЗИСТИВНОЙ ГАЗОВОЙ СЕНСОРИКИ БЕЗ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ","authors":"Е.С. Тюнтеров, В.С. Абруков, В.А. Мукин, А.В. Смирнов, Д.В. Петров, Н.В. Александрова, И. И. Семенова","doi":"10.22184/1993-8578.2022.16.1.22.28","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Представлена методология разработки тонкопленочных систем, которая позволит получать хеморезистивные сенсоры с заданной газочувствительностью. Методология заключается в проведении серий экспериментов по синтезу тонкопленочных систем с использованием различных технологий синтеза (различные исходные материалы, параметры синтеза тонких пленок, различные методы синтеза тонких пленок: термо-\nрезистивное испарение, воздушно-капельное распыление, отжиг в атмосфере кислорода), проведении измерений их свойств и характеристик, создании базы данных результатов экспериментов; обобщении зависимостей, содержащихся в экспериментальных данных с помощью искусственных нейронных сетей в виде многофакторных вычислительных моделей. Эти модели позволят решать прямые и обратные задачи, экстраполировать выявленные в экспериментальных данных зависимости, проводить виртуальные эксперименты.","PeriodicalId":223196,"journal":{"name":"Nanoindustry Russia","volume":"12 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-02-16","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Nanoindustry Russia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.22184/1993-8578.2022.16.1.22.28","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

Представлена методология разработки тонкопленочных систем, которая позволит получать хеморезистивные сенсоры с заданной газочувствительностью. Методология заключается в проведении серий экспериментов по синтезу тонкопленочных систем с использованием различных технологий синтеза (различные исходные материалы, параметры синтеза тонких пленок, различные методы синтеза тонких пленок: термо- резистивное испарение, воздушно-капельное распыление, отжиг в атмосфере кислорода), проведении измерений их свойств и характеристик, создании базы данных результатов экспериментов; обобщении зависимостей, содержащихся в экспериментальных данных с помощью искусственных нейронных сетей в виде многофакторных вычислительных моделей. Эти модели позволят решать прямые и обратные задачи, экстраполировать выявленные в экспериментальных данных зависимости, проводить виртуальные эксперименты.

查看原文本刊更多论文

无电源的化学耐药性气体传感器设计薄膜系统的方法

这是一种薄膜系统开发的方法，可以让你以特定的气体敏感性获得化学反应传感器。方法是通过各种各样的合成技术(不同的材料、薄膜合成参数、不同的薄膜合成方法:热电偶蒸发、空气喷雾器、氧气喷雾器)、测量其性质和特性、创建实验结果数据库;通过人工神经网络作为多因子计算模型，在实验数据中包含的依赖的概括。这些模型允许直接和反向任务，推断实验依赖数据，进行虚拟实验。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

Nanoindustry Russia

自引率

0.00%

发文量