{"title":"Наноструктурирование поверхности монокристалла KTP с помощью бомбардировки кластерными ионами","authors":"И. В. Николаев, Н. Г. Коробейщиков","doi":"10.56761/efre2022.c3-o-007601","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Рассмотрено формирование самоупорядоченных периодических наноструктур на поверхности титанил-фосфата калия (KTP) при бомбардировки кластерными ионами аргона. Проведено сравнение результатов бомбардировки кластерными ионами аргона с различной энергией, приходящейся на 1 атом кластера E/N mean – 12.5 и 110 эВ/атом. Продемонстрировано изменение рельефа поверхности с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ). Для определения периода наноструктур использовалась функция спектральной плотности мощности (power spectral density, PSD). Выявлены особенности бомбардировки поверхности монокристалла KTP при нормальном и наклонном падениях кластерных ионов.","PeriodicalId":156877,"journal":{"name":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","volume":"19 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2022-11-14","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.56761/efre2022.c3-o-007601","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
Рассмотрено формирование самоупорядоченных периодических наноструктур на поверхности титанил-фосфата калия (KTP) при бомбардировки кластерными ионами аргона. Проведено сравнение результатов бомбардировки кластерными ионами аргона с различной энергией, приходящейся на 1 атом кластера E/N mean – 12.5 и 110 эВ/атом. Продемонстрировано изменение рельефа поверхности с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ). Для определения периода наноструктур использовалась функция спектральной плотности мощности (power spectral density, PSD). Выявлены особенности бомбардировки поверхности монокристалла KTP при нормальном и наклонном падениях кластерных ионов.
它是由钛磷酸钾(KTP)表面上的自有序周期性纳米管形成的。比较氩集群爆炸的结果与E/N mean - 12.5和110 ev / atom的不同能量。通过原子力显微镜(asm)显示了表面表面的变化。用于定义naostructour期间的光谱功率密度函数(PSD)。在集群离子的正常和倾斜下降下,对KTP单晶表面的轰击已经被发现。