Mid-infrared Broadband Spectroscopy for Plasma Analysis

Optical Sensors and Sensing Congress 2022 (AIS, LACSEA, Sensors, ES) Pub Date : 1900-01-01 DOI:10.1364/es.2022.etu4h.4

R. Krebbers, N. Liu, K. E. Jahromi, M. Nematollahi, O. Bang, G. Woyessa, C. Petersen, G. van Rooij, F. Harren, A. Khodabakhsh, S. Cristescu

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Abstract

We demonstrate the application of a home-built Fourier Transform Spectrometer based on a mid-infrared supercontinuum source for multispecies detection in a plasma reactor. The results show the high capability of the system for plasma analysis.

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等离子体分析的中红外宽带光谱学

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