Численное моделирование и проектирование резонаторной камеры СВЧ-реактора CVD

8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects Pub Date : 2022-11-14 DOI:10.56761/efre2022.s3-o-023301

Е.В. Балзовский, Сергей Смирнов

{"title":"Численное моделирование и проектирование резонаторной камеры СВЧ-реактора CVD","authors":"Е.В. Балзовский, Сергей Смирнов","doi":"10.56761/efre2022.s3-o-023301","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Приведены результаты численного моделирования распределения поля в цилиндрическом резонаторе камеры CVD-ректора в среде CST Studio Suite. На частоте 2.45 ГГц помимо основной моды ТМ011 в резонаторе присутствуют вторичные радиальные максимумы, связанные с одновременным возбуждением ТМ021 и высших мод. Выявлено, что на модовый состав существенно влияет кварцевое кольцо, разделяющее вакуумную часть от части, находящейся под атмосферным давлением. Найдена оптимальная геометрия дисковой камеры резонатора, в которой максимальная напряженность электрического поля достигается вблизи подложки с образцами. Для повышения стабильности зажигания СВЧ-разряда в камере резонатора используется подвижный поршень. По результатам моделирования изготовлен образец резонаторной камеры, экспериментально обнаружены стационарные режимы зажигания и устойчивого горения плазмы.","PeriodicalId":156877,"journal":{"name":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","volume":"46 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2022-11-14","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.56761/efre2022.s3-o-023301","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

Приведены результаты численного моделирования распределения поля в цилиндрическом резонаторе камеры CVD-ректора в среде CST Studio Suite. На частоте 2.45 ГГц помимо основной моды ТМ011 в резонаторе присутствуют вторичные радиальные максимумы, связанные с одновременным возбуждением ТМ021 и высших мод. Выявлено, что на модовый состав существенно влияет кварцевое кольцо, разделяющее вакуумную часть от части, находящейся под атмосферным давлением. Найдена оптимальная геометрия дисковой камеры резонатора, в которой максимальная напряженность электрического поля достигается вблизи подложки с образцами. Для повышения стабильности зажигания СВЧ-разряда в камере резонатора используется подвижный поршень. По результатам моделирования изготовлен образец резонаторной камеры, экспериментально обнаружены стационарные режимы зажигания и устойчивого горения плазмы.

查看原文本刊更多论文

CVD微波反应堆共振室数值模拟和设计

带圆柱形谐振器相机按性别分列数值模拟结果CVD周三校长CST Studio Suite。在2.45 ghz频率下，除了tm011的基本时尚外，谐振器还具有与tm021和更高模式同时激发有关的次级径向最大值。事实证明，石英环对时尚成分的影响很大，石英环将真空部分从大气压力中分离出来。找到了一个圆盘共振腔的最佳几何，在这个几何中，最大的电场强度接近于样品底座。共振腔内使用可移动活塞来提高微波放电的稳定性。在模拟中，一个共振腔样品被制作出来，实验发现稳定的点火模式和稳定的等离子体燃烧模式。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

自引率

0.00%

发文量