60-MHz wine-glass micromechanical-disk reference oscillator

2004 IEEE International Solid-State Circuits Conference (IEEE Cat. No.04CH37519) Pub Date : 2004-09-13 DOI:10.1109/ISSCC.2004.1332724

Yu-Wei Lin, Seungbae Lee, Sheng-Shian Li, Yuan Xie, Z. Ren, C. Nguyen

引用次数: 65

Abstract

A reference oscillator utilizing a 60MHz, MEMS-based, wine glass disk vibrating micromechanical resonator with a Q of 48,000 and sufficient power handling capability to achieve a far-from-carrier phase noise of -130dBc/Hz is demonstrated. When divided down to 10MHz, this corresponds to an effective level of -145dBc/Hz.

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2004 IEEE International Solid-State Circuits Conference (IEEE Cat. No.04CH37519)

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