Germanium Light Source for Wafer-Level Inspection

2019 IEEE 16th International Conference on Group IV Photonics (GFP) Pub Date : 2019-08-01 DOI:10.1109/GROUP4.2019.8853908

H. Fukuda, Y. Maeda, S. Matsuo, T. Miura

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Abstract

We describe a germanium light source for wafer-level inspection. The structure and dimensions of the light source are almost the same as those of a germanium photodiode, so that we can integrate them.

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