Kyung-Hyun Kim, Kwan-Yong Kim, Hyo-Chang Lee, C. Chung
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Abstract
유도 결합 플라즈마를 활용하여 Ar/CO 2 혼합가스에서 이산화탄소를 분해하는 연구이다 . 고밀도 플라즈마를 발생 시키기 위해 Ar 가스를 첨가하였고 이산화탄소 분해율을