Advances towards the demonstration of a Ge/SiGe modulator integrated on SOI

11th International Conference on Group IV Photonics (GFP) Pub Date : 2014-11-24 DOI:10.1109/GROUP4.2014.6962027

M. Rouifed, D. Marris-Morini, X. Le roux, P. Chaisakul, J. Frigerio, D. Chrastina, G. Isella, L. Vivien

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Abstract

We investigated Ge/SiGe QW modulators integrated on SOI waveguide. Promising performances are predicted and advances towards the fabrication of the modulators are reported.

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集成在SOI上的Ge/SiGe调制器的演示研究进展

研究了集成在SOI波导上的Ge/SiGe QW调制器。展望了该调制器的良好性能，并报道了该调制器的制造进展。

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