Variations in surface morphology of ion implanted InP after rapid thermal annealing

International Conference on Indium Phosphide and Related Materials Pub Date : 1990-04-23 DOI:10.1109/ICIPRM.1990.203057

D. Stevanović, P. Ferret, D. A. Thompson

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Abstract

A change in the surface morphology of

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表面形态的变化

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