Plasma Sources Science and Technology

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Plasma Sources Science and Technology - 最新文献

Generation of high-density plasma via transparent electrode in capacitively coupled plasma

Pub Date : 2024-07-25 DOI: 10.1088/1361-6595/ad678f Ho-Jun Moon, Jiwon Jung, Junyoung Park, Chin-Wook Chung

In situ measurement of electron emission yield at Si and SiO2 surfaces exposed to Ar/CF4 plasmas

Pub Date : 2024-07-23 DOI: 10.1088/1361-6595/ad6690 M. Sobolewski

Variations of plasma potential in RF discharges with DC-grounded electrode

Pub Date : 2024-07-23 DOI: 10.1088/1361-6595/ad6691 P. Hiret, Patrik Tognina, E. Faudot, Roland Steiner, Artem M Dmitriev, L. Marot, Ernst Meyer
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