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IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium - 最新文献
The nature of defect size distributions in semiconductor processes
Pub Date : 1989-05-22 DOI: 10.1109/ISMSS.1989.77261 H. Parks, E. BurkeBringing the 'S' back into statistical process control
Pub Date : 1989-05-22 DOI: 10.1109/ISMSS.1989.77240 J. SredniA production fab defect reduction program
Pub Date : 1989-05-22 DOI: 10.1109/ISMSS.1989.77244 I. Henderson
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