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2006 16th Biennial University/Government/Industry Microelectronics Symposium - 最新文献
Low Temperature Dopant Activation for Integrated Electronics Applications
Pub Date : 2006-06-25 DOI: 10.1109/UGIM.2006.4286374 E. Woodard, R. Manley, G. Fenger, R. Saxer, K. Hirschman, D. Dawson‐Elli, J. G. CouillardSurvey of University Micro/Nanotechnology Cleanroom Facilities as the First Phase in the Development of a U of L Business Model
Pub Date : 2006-06-25 DOI: 10.1109/UGIM.2006.4286359 K. Walsh, M. Crain, R. Keynton, L. Itamura, S. Smith, B. KemelgorLithography Challenges toward Nano Scaled Device
Pub Date : 2006-06-25 DOI: 10.1109/UGIM.2006.4286356 H. Lee, Jin-Seoung Kim, YoungKeun Cho, S. Jeon, Kinam Kim, Kwanghee Kim, Jae-joon Oh, H. Lee
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