[1992] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems

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[1992] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems - 最新文献

Pub Date : 1992-02-04 DOI: 10.1109/MEMSYS.1992.187703 K. J. Gabriel, O. Tabata, K. Shimaoka, S. Sugiyama, H. Fujita

Pub Date : 1992-02-04 DOI: 10.1109/MEMSYS.1992.187716 K. Suzuki, I. Shimoyama, H. Miura, Y. Ezura

Pub Date : 1992-02-04 DOI: 10.1109/MEMSYS.1992.187723 K. Ikuta, S. Aritomi, T. Kabashima

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