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Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXIV - 最新文献
Nonlinear optical dynamics in femtosecond laser processing of silicon waveguides (Conference Presentation)
Pub Date : 2019-03-13 DOI: 10.1117/12.2508663 J. Qiao, F. Arteaga-SierraLaser material processing in the ablation-cooled regime: Ablation efficiency and quality using single fs-, bursts of fs-, and single ns-pulses (Conference Presentation)
Pub Date : 2019-03-13 DOI: 10.1117/12.2514441 M. Domke, S. Stroj, V. Matylitsky
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