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9th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors, RTP 2001 - 最新文献
Electromagnetic induction heating for cold wall rapid thermal processing
Pub Date : 2001-09-25 DOI: 10.1109/RTP.2001.1013765 K. Thompson, J. Booske, Y. Gianchandani, R. Cooper, Y. Bykov, A. Eremeev, I. PlotnikovAdvantages of the hot-shielding technology with regard to ultra thin RTO quality
Pub Date : 2001-09-25 DOI: 10.1109/RTP.2001.1013782 A. Stadler, J. Schulze, H. Baumgartner, I. Eisele, W. Dietl, Z. NényeiEffect of growth and annealing conditions on interface charge of dry and wet oxides grown using rapid thermal oxidation
Pub Date : 2001-09-25 DOI: 10.1109/RTP.2001.1013779 R. Sharangpani, S. Tay
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