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1988. Proceedings., Fifth International IEEE VLSI Multilevel Interconnection Conference - 最新文献
A framework for multilevel interconnection technology
Pub Date : 1988-06-13 DOI: 10.1109/VMIC.1988.14182 P. Pai, C. Ting, W. OldhamA simple technique for Al planarization
Pub Date : 1988-06-13 DOI: 10.1109/VMIC.1988.14216 P. Bai, T. Lu, S. RobertsThermal budgeting in a double level metal process with CVD tungsten as first metal
Pub Date : 1988-06-13 DOI: 10.1109/VMIC.1988.14196 G.C. Smith, R. J. Gale, C. Huffman, J. Kuehne, T. Weaver
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