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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures - 最新文献
Fabrication strategies for filter banks based on microring resonators
Pub Date : 2008-11-01 DOI: 10.1116/1.3021389 C. Holzwarth, R. Amatya, M. Dahlem, A. Khilo, F. Kärtner, E. Ippen, Rajeev J Ram, Henry I. SmithChemical patterning for the highly specific and programmed assembly of nanostructures
Pub Date : 2005-07-18 DOI: 10.1116/1.1990159 Balaji Kannan, Rajan P. Kulkarni, S. Satyanarayana, K. Castelino, A. MajumdarHigh fidelity blazed grating replication using nanoimprint lithography
Pub Date : 2004-12-13 DOI: 10.1116/1.1809614 Chih‐Hao Chang, J. Montoya, Mireille Akilian, Andrew P. Lapsa, R. Heilmann, M. Schattenburg, M. Li, K. Flanagan, A. Rasmussen, J. Seely, J. Laming, Benjawan Kjornrattanawanich, L. Goray
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