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Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS - 最新文献
Double-sided bulk micromachining of SOI films using room-temperature oxygen-plasma-assisted bonding
Pub Date : 2002-04-19 DOI: 10.1117/12.462867 A. Sanz-Velasco, Henrik Roedjegard, G. AnderssonApplication of a computer-supported method for design optimization of micro-optical systems on an IR gas sensor
Pub Date : 2002-04-19 DOI: 10.1117/12.462815 I. Sieber, H. Eggert, Karl-Heinz SuphanPhase-matching pseudo-resonant tunable InP-based MOEMS
Pub Date : 2002-04-19 DOI: 10.1117/12.462844 Dan Zhou, K. Sun, M. Garrigues, J. Leclercq, P. Regreny, J. Peng, P. Viktorovitch
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