Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems

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Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems - 最新文献

Pub Date : 1994-12-09 DOI: 10.1109/MEMSYS.1994.555604 C. Ahn, M. Allen

Pub Date : 1994-01-25 DOI: 10.1109/MEMSYS.1994.555768 K. Deng, M. Mehregany

Pub Date : 1994-01-25 DOI: 10.1109/MEMSYS.1994.555829 H. Hosaka, H. Kuwano

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