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IEEE Proceedings on Micro Electro Mechanical Systems, An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots. - 最新文献
A planar air levitated electrostatic actuator system
Pub Date : 1990-02-11 DOI: 10.1109/MEMSYS.1990.110250 K. Pister, R. Fearing, R. HoweA micromachined silicon electron tunneling sensor
Pub Date : 1990-02-11 DOI: 10.1109/MEMSYS.1990.110275 Thomas W. Kenny, S. Waltman, J. Reynolds, William J. KaiserPositioning and measurement using a crystalline lattice reference scale-a feasibility study of STM application to MEMS
Pub Date : 1990-02-11 DOI: 10.1109/MEMSYS.1990.110276 H. Kawakatsu, Y. Hoshi, H. Kitano, T. Higuchi
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