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AVS 67 Virtual Symposium, Held Virtually, 25-28 Oct 2021 - 最新文献
Stabilization of ferroelectric phase of Hf0.6Zr0.4O2 on NbN and Nb [slides]
Pub Date : 2021-10-25 DOI: 10.2172/1892451 M. Henry, Shelby S. Fields, Sean Smith, P. Davids, G. Esteves, S. Wolfley, T. Young, J. IhlefeldChemistry of Titanium Deposition Precursors for Area-Selective Deposition of Functionalized Silicon [Posters]
Pub Date : 2021-10-25 DOI: 10.2172/1893287 Tyler J. Parker, D. Silva-Quiñones, George Wang, A. Teplyakov
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