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Photonics West - Micro and Nano Fabricated Electromechanical and Optical Components - 最新文献
Mode-splitting of a non-polarizing guided mode resonance filter by substrate overetching effect
Pub Date : 2014-03-07 DOI: 10.1117/12.2038116 M. Saleem, S. Honkanen, J. TurunenFabrication technology to increase surface area of ionomer membrane material and its application towards high surface area electric double-layer capacitors
Pub Date : 2014-03-07 DOI: 10.1117/12.2040273 A. Chang, J. Patel, C. Cordoba, B. Kaminska, K. KavanaghChemical mechanical polishing of boron-doped polycrystalline silicon
Pub Date : 2014-03-07 DOI: 10.1117/12.2036822 H. Pirayesh, K. Cadien
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