11th International Workshop on Junction Technology (IWJT)

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11th International Workshop on Junction Technology (IWJT) - 最新文献

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Pub Date : 2021-06-10 DOI: 10.23919/iwjt52818.2021.9609348 Rhonda V. Magee

Plasma doping of silicon fin structures

Pub Date : 2011-06-09 DOI: 10.1109/IWJT.2011.5969992 S. Felch, C. Hobbs, J. Barnett, H. Etienne, J. Duchaine, M. Rodgers, S. Bennett, F. Torregrosa, Y. Spiegel, L. Roux

Feasibility study of plasma doping using B2H6 and PH3 for shallow junction

Pub Date : 2011-06-09 DOI: 10.1109/IWJT.2011.5969993 G. Fuse, Masaru Tanaka, H. Murooka, M. Kuriyama, M. Sugitani

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