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2011 e-Manufacturing & Design Collaboration Symposium & International Symposium on Semiconductor Manufacturing (eMDC & ISSM) - 最新文献
Effects of sample sizes in phases I and II on p control chart performance
Pub Date : 2011-11-28 DOI: 10.1080/03610926.2010.542856 Yi-Chun ChenEtch process optimization and electrical improvement in TiN hard mask ultra-low k interconnection
Pub Date : 2011-11-28 DOI: 10.1557/OPL.2012.1314 Chih-Yang Chang, Sean Kang, C. Kao, N. Bekiaris, C. Ching, B. Pu, T. Lill
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