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2007 15th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors - 最新文献
Impact of sub-melt laser annealing on Si1-xGex source /drain defectivity
Pub Date : 2007-11-19 DOI: 10.1109/RTP.2007.4383859 E. Rosseel, J.P. Lu, A. Hikavyy, P. Verheyen, T. Hoffmann, O. Richard, J. Geypen, H. Bender, R. Loo, P. Absil, R. Mcintosh, S. Felch, R. SchreutelkampLasers Solutions for Annealing
Pub Date : 2007-11-19 DOI: 10.1109/RTP.2007.4383855 B. Turk, R. Paetzel, J. Brune, S. Govorkov, F. SimonEffect of He Induced Nanovoid on B Implanted in Si: The Microscopic Mechanism
Pub Date : 2007-11-19 DOI: 10.1109/RTP.2007.4383827 E. Bruno, S. Mirabella, F. Priolo, F. Giannazzo, V. Raineri, E. Napolitani
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