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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies - 最新文献
MEMS residual stress characterization: methodology and perspective
Pub Date : 2010-12-01 DOI: 10.1016/B978-0-323-29965-7.00017-8 Kuo-Shen Chen, K. OuVapor-phase etch processes for silicon MEMS
Pub Date : 1900-01-01 DOI: 10.1016/b978-0-12-817786-0.00020-7 P. HammondDeep reactive ion etching
Pub Date : 1900-01-01 DOI: 10.1016/B978-0-323-29965-7.00021-X F. Laermer, S. Franssila, L. Sainiemi, L. Sainiemi, K. Kolari
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