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Proceedings of the Thirteenth Biennial University/Government/Industry Microelectronics Symposium (Cat. No.99CH36301) - 最新文献
An undergraduate microfabrication project laboratory case study: the micromechanical contactor array
Pub Date : 1999-06-23 DOI: 10.1109/UGIM.1999.782831 Chi Hoang, M. SchmidtExploring silicon process technology through RIT'S NPN BJT process
Pub Date : 1999-06-23 DOI: 10.1109/UGIM.1999.782830 K. Hirschman, P. RackOhio MEMSNet: an innovative approach to providing MEMS infrastructure
Pub Date : 1999-06-23 DOI: 10.1109/UGIM.1999.782813 J. Melzak, M. Mehregany
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