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The Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2003. MEMS-03 Kyoto. IEEE - 最新文献
A three-axis accelerometer for high temperatures with low temperature dependence using a constant temperature control of SOI piezoresistors
Pub Date : 2003-04-02 DOI: 10.1109/MEMSYS.2003.1189790 K. Lee, H. Takao, K. Sawada, M. IshidaSimulation, fabrication and evaluation of microinductor-based artificial tactile mechanoreceptor embedded in PDMS
Pub Date : 2003-04-02 DOI: 10.1109/MEMSYS.2003.1189722 N. Futai, K. Matsumoto, I. ShimoyamaMonolithic high aspect ratio two-axis optical scanners in SOI
Pub Date : 2003-04-02 DOI: 10.1109/MEMSYS.2003.1189734 V. Milanovic, G.A. Matus, T. Cheng, B. Cagdaser
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