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2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) - 最新文献
Cantilever array with optomechanical read-out and integrated actuation for simultaneous high sensitivity force detection
Pub Date : 2016-09-15 DOI: 10.1109/OMN.2016.7565883 T. Michels, I. Rangelow, V. AksyukThree-dimensional polarization splitter and rotator based on multi-layer Si3N4-on-SOI platform
Pub Date : 2016-09-15 DOI: 10.1109/OMN.2016.7565934 K. Tan, Ying Huang, G. Lo, Chengkuo Lee, Changyuan Yu
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