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2022 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics and Mechanics (IC-MAM) - 最新文献
Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process
Pub Date : 2022-07-18 DOI: 10.1109/IC-MAM55200.2022.9855309 S. Kudo, Satoshi Tokai, T. YanagitaniPerturbation Analysis of Nonlinearity in Radio Frequency Bulk Acoustic Wave Resonators
Pub Date : 2022-07-18 DOI: 10.1109/IC-MAM55200.2022.9855256 K. Hashimoto, J. BaoLaterally Excited Bulk Acoustic Resonators (XBARs): Optimization Method and Application to Resonators on LiTaO3
Pub Date : 2022-07-18 DOI: 10.1109/IC-MAM55200.2022.9855297 N. Naumenko
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