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2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - 最新文献
Cmos-Mems SC0.12AL0.88N-Based Pyroelectric Infared Detector with CO2 Gas Sensing
Pub Date : 2021-01-25 DOI: 10.1109/MEMS51782.2021.9375435 D. Ng, C. Ho, Linfang Xu, Tantan Zhang, L. Siow, E. Ng, H. Cai, Qingxin Zhang, L. LeeBeyond-Materials for Sustainable Power Generation
Pub Date : 2021-01-25 DOI: 10.1109/MEMS51782.2021.9375418 Miso Kim"Bend-and-Bond" Polymer Microfluidic Origami
Pub Date : 2021-01-25 DOI: 10.1109/MEMS51782.2021.9375402 Weijin Guo, J. Hansson, Linnea Gustafsson, Wouter van der Wijngaart
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