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International Electron Devices Meeting 2000. Technical Digest. IEDM (Cat. No.00CH37138) - 最新文献
Modelling of dishing for metal chemical mechanical polishing
Pub Date : 2000-12-12 DOI: 10.1109/IEDM.2000.904364 V. Nguyen, P. van der Velden, R. Daamen, H. van Kranenburg, P. WoerleeA high-Q tunable micromechanical capacitor with movable dielectric for RF applications
Pub Date : 2000-12-10 DOI: 10.1109/IEDM.2000.904362 Jun‐Bo Yoon, C. NguyenFemtosecond all-optical devices for tera-bit/sec optical networks
Pub Date : 2000-12-10 DOI: 10.1109/IEDM.2000.904389 O. Wada
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