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1994 5th International Symposium on Micro Machine and Human Science Proceedings - 最新文献
Development of ceramic nano-porous materials
Pub Date : 1994-10-02 DOI: 10.1109/ISMMHS.1994.512918 T. JunIchiroElectrostatic gas valve for semiconductor manufacturing system
Pub Date : 1994-10-02 DOI: 10.1109/ISMMHS.1994.512911 K. Sato, M. Shikida
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