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1999 4th International Workshop on Statistical Metrology (Cat. No.99TH8391) - 最新文献
Fault diagnosis of analog integrated circuits using response surface methods
Pub Date : 1999-06-12 DOI: 10.1109/IWSTM.1999.773186 J. Vázquez-González, G. E. Flores-VerdadImplementation of a TCAD based system to aid process transfer
Pub Date : 1999-06-12 DOI: 10.1109/IWSTM.1999.773195 V. Nilsen, A. J. Walton, J. Donnelly, G. Horsburgh, R. ChildsImpact of RSF with variable coefficients for CD variation analysis including OPC
Pub Date : 1999-06-12 DOI: 10.1109/IWSTM.1999.773197 A. Goda, A. Misaka, S. Odanaka
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