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MOEMS and Miniaturized Systems XXI - 最新文献
Compact and ultrathin back-reflection grating spectrometer with improved spectral resolution
Pub Date : 2022-03-09 DOI: 10.1117/12.2609164 Jung-Woo Park, Jaehun Jeon, Gi Beom Kim, K. JeongHigh-performance near-infrared spectral sensors based on a wafer-scale fabrication process
Pub Date : 2022-03-09 DOI: 10.1117/12.2605960 Don M. J. van Elst, A. van Klinken, Fang Ou, M. Petruzzella, K. Hakkel, F. Pagliano, R. V. van Veldhoven, A. Fiore
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