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2000 Semiconductor Manufacturing Technology Workshop (Cat. No.00EX406) - 最新文献
Technical and Business Issues of 300mm Inplementation
Pub Date : 2000-06-14 DOI: 10.1109/SMTW.2000.883086 R. GoodallDesign and operation of reactive gas delivery systems for IC fabrication plants
Pub Date : 2000-06-14 DOI: 10.1109/SMTW.2000.883102 Yung-ho Chou, T. Su, M.S.K. Chen, S. Fine, M. George, J. McGuire, S. Dheandhanoo, J. Yang, R. J. Ciotti, D.F. YesenofskiCMP area automation in SMIF fab
Pub Date : 2000-06-14 DOI: 10.1109/SMTW.2000.883101 Yuh-Dean Tsai, Hwa-Shin Huang
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