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Optical Microlithography XXXII - 最新文献
Full-chip application of machine learning SRAFs on DRAM case using auto pattern selection
Pub Date : 2019-10-10 DOI: 10.1117/12.2524051 K. C. Chen, Andy Lan, Richer Yang, V. Chen, Shulu Wang, Stella Zhang, Xiang-ru Xu, A. Yang, Sam Liu, Xiaolong Shi, Angmar Li, S. Hsu, S. Baron, Gary Zhang, Rachit GuptaPhysical and compact modeling of resist deformation (Conference Presentation)
Pub Date : 2019-03-18 DOI: 10.1117/12.2515128 Gurdaman S. Khaira, Y. Granik, K. Adam, G. FengerSoftware in semiconductor manufacturing: peripeteias and prospects (Conference Presentation)
Pub Date : 2019-03-18 DOI: 10.1117/12.2514761 Y. Granik
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