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MHA'98. Proceedings of the 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science. - Creation of New Industry - (Cat. No.98TH8388) - 最新文献
Tunable acoustic absorber with micro deep hole array
Pub Date : 1998-11-25 DOI: 10.1109/MHS.1998.745778 M. Yoda, S. Sugiyama, S. Akishita, S. KonishiControl and analysis of low inertia miniature synchronous motors
Pub Date : 1998-11-25 DOI: 10.1109/MHS.1998.745757 J. Nicoud, O. Matthley, G. CaprariStudy on fabrication of high aspect ratio electrostatic microactuators using LIGA process
Pub Date : 1998-11-25 DOI: 10.1109/MHS.1998.745772 R. Kondo, K. Suzuki, S. Sugiyama
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