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[1991 Proceedings] IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop - 最新文献
Diagnostic system for IC manufacturing
Pub Date : 1991-10-21 DOI: 10.1109/ASMC.1991.167392 J. Kibarian, A. StrojwasA framework for resource management
Pub Date : 1991-10-21 DOI: 10.1109/ASMC.1991.167389 S.C. Karacal, L. FullerA sequential experimentation strategy and response surface methodologies for process optimization
Pub Date : 1991-10-21 DOI: 10.1109/ASMC.1991.167404 G. E. Flores, D.H. Norbury
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