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17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest - 最新文献
Utilization of carbon nanotube and diamond for electron field emission devices
Pub Date : 2004-09-27 DOI: 10.1109/MEMS.2004.1290614 P. N. Minh, P. N. Hong, To Manh Cuong, T. Ono, M. EsashiTdesign and fabrication of a three-dimensional long-stretch micro drive by electroplating
Pub Date : 2004-09-27 DOI: 10.1109/MEMS.2004.1290625 W. Tai, Chien-Tai Wu, Chen-Peng Hsu, W. HsuMicro-patterned electret for high power electrostatic motor
Pub Date : 2004-09-27 DOI: 10.1109/MEMS.2004.1290624 T. Genda, S. Tanaka, M. Esashi
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