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Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVII - 最新文献
Laser nano-fabrication buried deep inside silicon wafers
Pub Date : 2022-04-01 DOI: 10.1117/12.2607911 O. TokelThe formation of periodic micro-cup structures on silicone rubber surface by 193 nm ArF excimer laser irradiation
Pub Date : 2022-04-01 DOI: 10.1117/12.2607201 K. Iwasaki, Tsuyoshi Yoshida, M. Okoshi
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