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2019 IEEE 14th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) - 最新文献
Optimization Design Method of MEMS-IMU Structure
Pub Date : 2019-04-01 DOI: 10.1109/NEMS.2019.8915612 J. Zhuang, Y. Liu, C. H. He, R. Z. Zhang, B. Zhou, X. ChengAsymmetric Langmuir-Blodgett and Hydrophilization Process to Realize Density-Controllable Carbon Nanotube Array on Flexible and Stretchable Substrates
Pub Date : 2019-04-01 DOI: 10.1109/NEMS.2019.8915601 Qinghua Wang, Qiuyue Huang, Zhiqiang Liao, Chunhui Du, Min ZhangA High-sensitivity, Small-size Resonant Pressure Microsensor Based on Optimized Resonator-diaphragm Structure
Pub Date : 2019-04-01 DOI: 10.1109/NEMS.2019.8915640 Yulan Lu, Sen Zhang, Yadong Li, B. Xie, Deyong Chen, Junbo Wang, Jian Chen
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