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2008 IEEE International Integrated Reliability Workshop Final Report - 最新文献
Electrical characterization techniques for the high-κ era
Pub Date : 2008-12-01 DOI: 10.1109/IRWS.2008.4796146 C. YoungBreakdown mechanism for the thin EOT Dy2O3/HfO2 dielectric
Pub Date : 2008-12-01 DOI: 10.1109/IRWS.2008.4796132 Tackhwi Lee, S. Park, Jack C. Lee, S. BanerjeeQuantitative reliability assessment of Plasma Induced Damage on product wafers with fast WLR measurements
Pub Date : 2008-10-01 DOI: 10.1109/IRWS.2008.4796092 A. Martin, C. Bukethal, K. Rydén, S. Baier, M. Schwerd
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