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2022 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM) - 最新文献
Principal Component Analysis Based GaN Transistor Live Health Monitoring
Pub Date : 2022-12-12 DOI: 10.1109/ISSM55802.2022.10026977 F. Chalvin, Y. Miyamae, Yoshiaki Oku, K. NakaharaPlasma Process Classification Using Causal Discovery Technique
Pub Date : 2022-12-12 DOI: 10.1109/ISSM55802.2022.10027032 Kobayashi Dai, Kitsunezuka Masaki, Kataoka Yuki, Shi JunOptimization of RF Frequencies in Dual-frequency Capacitively Coupled Plasma Apparatus Using Genetic Algorithm (GA) and Plasma Simulation
Pub Date : 2022-12-12 DOI: 10.1109/ISSM55802.2022.10026920 S. Takagi, Tatsuhiro Nakaegawa, S. Hsiao, M. Sekine
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