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18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005. - 最新文献
"Pop-up" display wth 3-dimensional microlens structures
Pub Date : 2005-10-25 DOI: 10.1109/memsys.2005.1453909 M. Tohara, E. Iwase, K. Hoshino, K. Matsumoto, I. ShimoyamaMicrovison-activated automatic optical manipulator for microscopic particles [microvison read microvision]
Pub Date : 2005-07-05 DOI: 10.1109/MEMSYS.2005.1454021 P. Chiou, A. Ohta, M. WuExtraction of compensated /spl sigma//sub xx/-/spl sigma//sub yy/ and /spl sigma//sub xy/ stresses from a single four-contact sensor using the spinning transverse voltage method
Pub Date : 2005-07-05 DOI: 10.1109/MEMSYS.2005.1453917 J. Bartholomeyczik, S. Kibbel, P. Ruther, O. Paul
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