基于热力学-流体动力学耦合模型的CVD SiC工艺优化及高纯涂层制备（英文）

求助中 10 由 fugaz 发布于 2026/8/21 15:21:37

作者：徐振男, 陈招科, 舒睿, 薛佳祥, 谢冯旻煜, 吴宗绪, 杨荣坤, 杨正茂, 熊翔
文献类型：期刊论文
补充材料：只需要正文

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