Polarity control of sputter-deposited wurtzite AlScN thin films by AlSc seed layer

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作者：K. OnimuraCorresponding Author ORCID logo ; Y. Wu; H. Kobayashi ORCID logo ; T. Hoshii ORCID logo ; S.-M. Chen ORCID logo ; H. Nishida; K. Kakushima
文献类型：期刊论文
补充材料：只需要正文
文献链接：https://pubs.aip.org/aip/jap/article-abstract/139/24/244101/3396035/Polarity-control-of-sputter-deposited-wurtzite?redirectedFrom=fulltext

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pc杨

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