The Materials Science of Thin Films

求助中 100 由 xue2025 发布于 2026/7/19 12:00:12

DOI:10.5860/choice.30-0953
作者：Ohring, M.
文献类型：图书
补充材料：只需要正文
备注：出版社/版本：Academic Press，2nd ed. (2002)，ISBN 9780125249751

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Abstract：A Review of Materials Science. Vacuum Science and Technology. Physical Vapor Deposition. Chemical Vapor Deposition. Film Formation and Structure. Characterization of Thin Films. Epitaxy. Int

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