Application of high-spatial-resolution distributed fiber-optic sensing technique for neutral gas temperature mapping in inductively coupled Ar plasmas

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DOI:10.1116/6.0004640
作者：Luo, Qian; Lv, Tuo; Wang, Peng-Yu; Zhou, Da-Peng; Gao, Fei; Wang, You-Nian
文献类型：期刊论文
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American Institute of Physics (AIP)

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2026-01-17

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