Invited) Control of Atomic Layer Reactions in Plasma Processing

已完结 10 由居鸭发布于 2024/11/28 11:45:49

DOI:10.1149/07506.0025ECST
作者：P. Ventzek, Sonam Sherpa, Mingmei Wang, V. Rastogi, A. Ranjan
文献类型：期刊论文
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